北方华创lCP刻蚀机1000腔顺利交付

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，北方华创官方消息显示，日前，北方华创lCP刻蚀机1000腔交付仪式在北京亦庄基地举行。

北方华创

目前，北方华创刻蚀技术应用领域已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。

其中，12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28nm 国产化替代的同时，在14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中也发挥着重要作用。

据介绍，北方华创成立于2001年，自成立起就开始组建团队钻研刻蚀技术，2004年首台设备实现成功起辉，2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线，并于2007年获得了国家科学技术进步二等奖。（校对/西农落）